厂房微振监测系统介绍
系统目的

半导体技术日新月异发展下，对于无尘室内振动或微振动皆直接影响着产品生产良率。在无尘室设立振动监测系统下，可实时监控生产中无尘室监控区域振动状态。进而提供设备制程人员及厂务人员在实际生产运行中，因振动对于产品良率的表现，找出更适合产品生产的参数。因振动对于厂房结构的影响，更可避免，因长期间的振动对楼板的结构造成抗振能力下降。
可量测外来的微振量测对厂内生产时造成的影响，以实时记录的方式，可以进行问题的分析及改善。
目前台积电各厂都将此系统列为标准建厂配备，目的在于此系统可以协助提升产品良率，并且避免其它振动因素产生，需要找问题来源时无法有记录可以分析

监测系统架构

24hr不间断讯号量测

提供实时时域或频域波型显示

地振报告Folder

实绩

台积电各厂
上海中芯SN1
华大集团半导体
微振检测系统（附pdf）