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MAU设备案例(2)

诺佤的振动监测系统就是能够提供给客户简单,快速,有效的解决方案(Phoenix GM)。设备何时坏掉?设备坏在哪里?

芯片厂最重要关系到生产质量其中一项设备就是MAU,若能提早知道设备状况就能得到更好质量及良率。

振动异常情况主要发生在风扇FanO端,其特点是振动总量突然明显增高,且频谱也发现异常,推断与轴承部位结构松动有关。FanI端没有受到影响,说明问题发生在FanO端局部,并非整个风扇的问题。且与系統辅助自动诊断分析结果是一致。实际现场也发现跟诊断分析是一样。经业主修复后系统已无报警也恢复良好状况。诺佤振动监测系统不只是监测轴承,连小螺丝松动都能检查到。

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